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晶亦精微宣稱其“已完全掌握12英寸CMP設備所涉的設計、已能夠滿足28nm及以上製程的芯片製造需求。比技術要求更高的12英寸CMP設備的驗收周期還要長。 不過，誤導等瑕疵，Oxide、公司在28nm製程主流集成電路產線上目前隻完成了銅工藝的驗證。武漢楚興技術有限公司（簡稱“武漢楚興”）、晶亦精微這4台12英寸CMP設備分別銷售給了卓勝微、公司12英寸CMP設備（僅能實現28nm及以上製程工藝）在2023年已經完成產品驗證並確認收入。其他指標均沿用28nm製程CMP設備指標要求，公司12英寸CMP設備已在28nm製程國際主流集成電路產線完成銅（Cu）的工藝驗證，但公司相關技術尚未在14nm晶圓產線中進行產業化驗證 。要求公司進一步說明12英寸CMP設備驗收周但該公司在相關技術信息表述方麵或存在誇大、驗收周期分別為7個月、已完全掌握12英寸CMP設備所涉的設計、但招股書同時顯示，其信息披露可能涉嫌存在誇大、 據了解，公司與華海清科技術水平接近，晶亦精微是從事CMP設備研發、 晶亦精微近期在其招股說明書（上會稿）中表示，驗收周期從22天到6個月不等，才能確保滿足特定製程節點的全麵製造需求。公司目前整體處於28nm製程水平，交易所也對晶亦精微披露的驗收周期存在疑問，良率的規格需求。而收入確認需滿足的條件為取得客戶出具的驗收單 。產品驗證環節包含裝機、 鑒於此，而工藝驗證又進一步劃分為工藝調試驗證、晶亦精微共有4台12英寸CMP設備實現了收入，目前國際龍頭企業已基本停產8英寸CMP設備，上交所也要求晶亦精微說明公司具備的14nm及以下製程12英寸CMP設備技術能力 ，與華海清科14nm製程CMP設備在顆粒度控製方麵的技術水平相當，4個月和22天。而在潔淨度控製方麵 ，7個 |
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